《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀（包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀），表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工
《微特电机》系统地介绍了各种微特电机运行原理、性能特点和设计方法等内容。全书共分三篇：上篇介绍通用基础理论，分别从电磁理论基础、磁路分析与永磁磁路、交流绕组基础、损耗与发热、振动、噪声与电磁兼容、电机常用分析方法等方面进行详细讲述；中篇介绍伺服与控制电机，从电气伺服驱动系统的共性问题出发，主要讲述了永磁直流电动机、永磁
《微机电系统设计和原型设计指南》的目的是通过一个使用顶级计算机辅助设计工具进行布局布线和建模的MEMS设计体验指导学生们，以提供一个健壮的、标准多元晶圆制造工艺的设计。许多这样的工艺都有成熟的设计规则可以分离设计和制造挑战。如果遵循这些规则，学生们能够获得他们所设计的东西。然而标准工艺的使用对可以制造的设备具有一些局限
田文超、娄利飞编著的《微机电技术》系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用，RFMEMS及重构天线，MEMS力学问题等。书中包含大量图、表，研究成果及相关结论，内容丰富。本书可供高年级本科生和研究生使用，也可以作相关工程技术人员及科技管理人员的参考书。
《普通高等教育“十二五”规划教材普通高等教育“十一五”国家级规划教材微特电机及系统（第二版）》为普通高等教育“十二五”规划教材。全书共十一章，主要内容包括伺服电动机与伺服系统、测速发电机、步进电动机、自整角机、旋转变压器、永磁无刷直流电动机、单相交流串励电动机、直线电动机、定子励磁型双凸极无刷电机驱动系统、超声波电动机
《微纳制造的基础研究学术著作丛书：微机电系统（MEMS）制造技术》主要论述微机电系统（MEMS）制造技术，全书共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势；第2章介绍MEMS制造的材料基础；第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术；第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术；第5章阐述湿法腐蚀
《普通高等教育“十一五”规划教材：控制电机（第4版）》是在原第三版教材的基础上修订而成的，书中主要阐述自动控制系统中常用的各种控制电机的基本结构、工作原理、工作特性和使用方法，其中包括交、直流伺服电动机，交、直流测速发电机，自整角机，旋转变压器，无刷直流电动机，步进电动机，开关磁阻电动机，交轴磁场放大机等，并简单介绍了
《国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版）》第1版被翻译成3种文字出版发行，并已被美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与
《小型交流伺服电机控制电路设计》主要介绍小型交流伺服电机的基本特性、设计方法及应用实例。主要内容包括交流伺服电机的基本原理、构造与特征，电机驱动电路，电机控制，反馈控制电路的设计，使用单片机控制交流伺服电机，驱动交流伺服电机的三相PWM控制回路，基于软件的伺服控制器的设计，基于汇编语言实现的伺服控制器高速化，交流伺服电
随着电子技术的发展，控制电机在实际工程中的应用愈加广泛，本书在汲取传统的控制电机教材对原理讲述清楚的基础上增加了控制等内容。将新的控制技术与控制芯片相结合，以适应宽口径复合型人才培养的需要。全书共分七章，第1章主要介绍直流伺服电动机、直流力矩电动机和无刷直流电动机的原理、结构、运行特性及控制；第2章主要介绍永磁同步伺服
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