传感器与MEMS技术导论

定　　价：448 元

• 作者：范茂军著
• 出版时间：2024/7/1
• ISBN：9787118133998
• 出 版 社：国防工业出版社

• 中图法分类：TP212 
• 页码：147页
• 版次：1
• 开本：24cm

内容简介

本书按照材料、基本概念、专业知识的分类。将说涉及应该简要讲解的内容共写成12章。内容包括敏感材料和与物理效应，传感器的分类、特性与建模仿真，力、扭矩与惯性传感器原理与结构设计，热工量中压力、流量、温度的测量与传感器原理与结构设计，光、辐射与图像传感器原理与结构设计，磁学传感器原理与结构设计，声学量传感器原理与结构设计，化学、电化学与气体传感器原理与结构设计，生物与离子传感器原理与结构设计，机器人传感器原理与结构设计，微系统MEMS工艺技术与封装及可靠性，传感器与微系统的典型应用。